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  • 原子層沉積系統

    原子層沉積系統,包括:傳統的熱原子層沉積系統(TALD)、等離子增強原子層沉積系統(PEALD)、粉末樣品的原子層沉積系統(Power-ALD)。

    更新時間:2020-11-01

    廠商性質:其他

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