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牛津電子束鍍膜機

描述:牛津電子束鍍膜機是化合物半導體器件制作中的一種重要工藝技術。它是在高真空狀態下由電子束加熱坩堝中的金屬,使其熔融后蒸發到所需基片上形成金屬膜

更新時間:2020-12-16
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牛津電子束鍍膜機是化合物半導體器件制作中的一種重要工藝技術。它是在高真空狀態下由電子束加熱坩堝中的金屬,使其熔融后蒸發到所需基片上形成金屬膜??烧舭l很多難熔金屬或者蒸汽壓低的金屬材料,包括Ta, W, Mo, Rh, C, B, Pt, Al2O3, ZnO, Pr2O3…VS5電子束蒸發鍍膜機是英國牛津真空公司生產,臺式設計、軟件自動操控、高性價比,非常適合實驗室科研使用。

 

牛津電子束鍍膜機技術規格:
- 基底尺寸:3英寸,4英寸,6英寸;
- 基底旋轉:0~10rpm;
- 電子束源:Telemark電子束源,單袋或多袋電子束源可選;
- 熱蒸發源:多配置2套熱蒸發舟(選配);
- 腔體:不銹鋼或石英腔體可供客戶選擇;
- 泵:前級干泵,分子泵;
- Load Lock樣品傳輸腔室:手動或自動傳輸,高真空,支持多種樣品襯底(選配);
- 工藝控制:PC/PLC機制的自動控制、數據處理、遠程支持;
- 原位監控:石英晶振監測(QCM),光學監測,殘余氣體分析,其他原位監測技術或控制;
- 襯底固定:單襯底固定,客戶化襯底固定方式;
- 襯底夾具:加熱,冷卻,偏置,旋轉等;

 

參考用戶:
清華大學、廈門大學、華中科大、廣東工大、深圳大學、蘭州理工大學、重慶石墨烯研究院等。

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